求問矽片的分類和適用範圍?

時間 2021-05-31 09:44:32

1樓:west wang

半導體矽片比較了解,簡單給你分一下:

1. 按照尺寸來分:

50mm / 100mm / 125mm / 150mm / 200mm/ 300mm/ 450mm

2. 按照拉晶工藝分:

a. CZ直拉法,這個最普遍,一般用於CMOS/Memory等大部分工藝器件

b. FZ區熔法,一般用於RF/IGBT等

3. 按照使用用途分:

a. 產品片: EPI 外延/ Polish 拋光 / Argon Anneal 退火 / SOI等

b. 測試片: mechnical wafer / particle wafer / control wafer / super flat wafer / special wafer , sucha as oxide/nitride wafer and so on.

2樓:

一種是給太陽能電池板做的矽片,一種是給半導體材料用的矽片。

太陽能用的單晶矽和多晶矽都有,單晶矽會更貴一點,轉化效率也稍微高一些;純度要求沒那麼高,6個「9」(99.9999%)就可以。

半導體矽片用的都是單晶矽,純度要求是11個「9」(99.999999999%)。一般是採用將多晶矽原料融化後採用直拉法拉成矽柱然後切片,做成矽片。

現在主流的矽片尺寸就是8英吋和12英吋,今年12英吋的佔比應該到了75%,並且會延續下去。18英吋的現在也能做出來,但因為投入太高財務上不合算,所以廠家都推遲了18英吋矽片的投產計畫。日本、台灣、德國、南韓、美國的6家公司佔據了94%的市場份額,美國的MEMC(SunEdision)去年剛被台灣GlobalWafer收購。

一般來講,90nm以下製程都是用12英吋的晶圓,生產NAND FLASH、DRAM、CPU、soc啊之類的晶元。8英吋的大部分是生產一些工業級晶元,感測器之類的。當然,矽片也分拋光片、退火片、外延片、SOI之類的,但是大同小異,只是在拋光片的基礎上進行了不同的處理。

3樓:

按摻雜分p型 n型 i型還真沒見過都是低摻雜的p或n按晶向 100 110 111

按大小 2-16寸不等

還有單面拋光雙面拋光薄的厚的 test grade或者prime之類

4樓:李崇

你問的是矽晶圓吧?

從材質硬度上來說,常見的有100,110,111三種。這三種機械強度不一樣。100是最軟的最好加工的,一般的ic和mems都是用這種。111最硬,常用來做功率器件比如igbt什麼的

從尺寸上來說,由2寸到10寸不等,厚度從10微公尺到500微公尺以上不等。

電阻係數忘了範圍了,反正是純絕緣的,到導電率很高的都有。

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