碳基晶元的製造為什麼不需要光刻工藝?

時間 2021-05-06 03:57:09

1樓:郭某某

在我的理解,應該叫做「不需要高階光刻機」。

做電極、做佈線這些都是需要光刻工藝的。碳基與矽基的主要區別在於:

矽基半導體這樣,以mos管為例,需要極細微的光刻工藝去製作柵線條,即所謂的5nm、7nm工藝,所以才說EUV光刻機卡脖子。

碳基,用碳奈米管做「溝道」,實質上是操控碳奈米管,而不是在乙個圓片上用高階光刻工藝製作線條。另外同等製程下,碳基的速度相比矽基也有質的提公升,也等效於特徵尺寸的進一步降低。

2樓:破碎圖騰

因為人也是碳基的呀!

之前的晶元需要光刻,是因為晶元是Ge的或者是Si的,甚至還有III-V化合物的,而人是碳基的,這加工起來就麻煩了;本來掰飭一下就好的事情,不是乙個基的,不能直接上手啊!

現在搞碳基晶元了,加工者被加工者大家是乙個基的了,那幹起活來基情澎湃、手到擒來,當然就用不上光刻機了。

另外,光刻機太反動了,既不是碳基的,也不是Ge基、Si基、III-V化合物基...的,怎麼配來加工晶元呢?!

3樓:狼牙土豆

只要碳基晶元還是半導體,碳基晶元就同樣需要光刻機或電子束蝕刻來固定電極。

建議去找那個告訴你碳基晶元不需要光刻機的人,然後告訴他耗子尾汁。

碳基晶元存在的意義是同等工藝下,效能大大超越矽基晶元,也就是說可以用14nm達到7nm甚至5nm水平(只是舉例),而越是高階工藝,越是國家的痛點。所以郭嘉才會押寶碳基晶元。

並不是為了避開光刻機!

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