有關MOS電晶體分類的幾個問題?

時間 2021-06-03 16:45:57

1樓:

VDMOS:Vertical Diffused MOS,垂直擴散MOSFET

VDMOS結構

VDMOS的漏極在矽片背面,溝道在兩個維度上包圍源極,所以叫「垂直」,實際上柵極依然是水平的。VDMOS是PowerMOS(大功率MOS器件)的一種,通過垂直設計減小溝道場強,可以使短溝道承受很高的電壓和電流。

缺點是漏極要從背面引出,很難用和主流積體電路工藝相容。

LDMOS: Laterally Diffused MOSFET,水平擴散MOSFET。

也是PowerMOS的一種,和VDMOS的區別是去掉了背部的漏極引出,方便相容其它工藝,和其他積體電路整合在同一塊晶元上。

可以看到LDMOS把背部的Drain引出挪到了右邊,代價是相對VDMOS面積變大了。

SGT MOS:Shielded-Gate Trench MOSFET,遮蔽柵溝槽MOSFET

還是PowerMOS,這個是真·垂直結構了。

右邊是SGT MOS

在矽片上刻出深槽,把柵極埋到深槽裡,同時柵極下方還埋有另一條金屬。溝道完全變成垂直的。

優點是寄生電容很小(垂直方向厚氧化層+shielding減小Cgs和Cgd),真·垂直結構使得面積也較小。

缺點不大了解,可能比較貴吧。

CoolMOS:英飛凌公司發明的一種結構,它們起了這麼個名字

沒錯,這依然是個PowerMOS!題主你上哪找了那麼多PowerMOS來問……

這是一種VDMOS的改進結構,通過加深VDMOS溝道之外body的摻雜深度,在不加大正嚮導通電阻的前提下提高器件關斷時的反向耐壓。

優點是解決了VDMOS正嚮導通電阻和反向耐壓的矛盾(VDMOS提高摻雜會減小電阻但同時減小耐壓),缺點嘛,你問英飛凌吧……

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